2012, № 9 (145)

УДК: 536.4: 621.373.826:546.28Ашиккалиева К.Х., Каныгина О.Н., Васильченко А.С. МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИЗОТЕРМИЧЕСКОМ И ЛАЗЕРНОМ ОТЖИГАХМетодами оптической и атомно-силовой микроскопии, фрактального анализа исследованы модификации поверхности монокристаллического кремния под действием изотермического и лазерного отжигов. Выявлено, что лазерный отжиг вызывает проплавление поверхности кремния и формирование на ней периодических структур, тогда как изотермический отжиг приводит к перераспределению дислокаций и образованию оксидной пленки.Ключевые слова: монокристаллический кремний, изотермический отжиг, лазерный отжиг, дислокация, периодические структуры, оксидная пленка.

Загрузить

Список использованной литературы:

1. Светухин, В.В. Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии. — Ульяновск: УлГУ, 2006. — 108 с.

2. Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков. — Москва: Металлургия, 1988. — 574 с.

3. Григорянц, А.Г. Технологические процессы лазерной обработки. — Москва: МГТУ имени им. Н.Э. Баумана, 2006. — 664 с.

4. Банишев А.Ф., Балыкина Е.А. Разрушение поверхности кремния и меди при импульсном и импульсно-периодическом воздействии Nd:YAG лазера // Квантовая электроника. — 1997. — Т. 24, №6. — С. 557–559.

О статье

Авторы: Ашиккалиева К.Х., Каныгина О.Н., Васильченко А.С.

Год: 2012

Главный редактор

Сергей Александрович
МИРОШНИКОВ

© Электронное периодическое издание: ВЕСТНИК ОГУ on-line (VESTNIK OSU on-line), ISSN on-line 1814-6465
Зарегистрировано в Федеральной службе по надзору в сфере связи, информационных технологий и массовых коммуникаций
Свидетельство о регистрации СМИ: Эл № ФС77-37678 от 29 сентября 2009 г.
Учредитель: Оренбургский государственный университет (ОГУ)
Главный редактор: С.А. Мирошников
Адрес редакции: 460018, г. Оренбург, проспект Победы, д. 13, к. 2335
Тел./факс: (3532)37-27-78 E-mail: vestnik@mail.osu.ru