|
|
|
В.И. Рудаков, В.Ф. Гребенюк, Э.К. Алиджанов ВЫСОКОРАЗРЕШАЮЩАЯ СКАНИРУЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ В настоящей работе представлена информация о структуре и элементном составе вакуумных ионно-плазменных покрытий, сформированных на основе нитридов тугоплавких металлов. Исследования проводились методами растровой электронной и сканирующей туннельной микроскопии. Элементный состав покрытий определялся методом микрорентгеновского спектрального анализа.
О статье
Авторы: Алиджанов Э.К., Гребенюк В.Ф., Рудаков В.И.
Год: 2003
|
|
Главный редактор |
Сергей Александрович МИРОШНИКОВ |
|
|